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发明名称 SQUARE-SHAPE WORK HANDLING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04351993(A) 申请公布日期 1992.12.07
申请号 JP19910152300 申请日期 1991.05.29
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;HITACHI LTD 发明人 IIZUKA NOBUYUKI;HIROKAWA HIDEO;HASEGAWA HIROSHI;TAKAGI MASAHIRO
分类号 B25J9/02;B25J15/06;B65H3/14;G12B5/00;H01L21/66 主分类号 B25J9/02
代理机构 代理人
主权项
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