| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04349639(A) |
申请公布日期 |
1992.12.04 |
| 申请号 |
JP19910121452 |
申请日期 |
1991.05.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KASHIMA NORIYASU;ATSUMI KOICHIRO;IKETANI YUKIHIRO |
| 分类号 |
B05D7/04;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L21/66 |
主分类号 |
B05D7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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