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发明名称 PLANAR MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04350164(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910150940 申请日期 1991.05.28
申请人 ANELVA CORP 发明人 ISHIBASHI KEIJI
分类号 C23C14/35;C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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