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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04350953(A)
申请公布日期
1992.12.04
申请号
JP19910123900
申请日期
1991.05.28
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
HORII TADASHI
分类号
H01L21/76;H01L21/316
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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