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发明名称
IMPROVING METHOD FOR DURABILITY OF O-RING IN REDUCED PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04350168(A)
申请公布日期
1992.12.04
申请号
JP19910121050
申请日期
1991.05.27
申请人
SONY CORP
发明人
NOHAMA SHIYOUJI
分类号
B01J3/00;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31
主分类号
B01J3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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