| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING DEPOSITED FILM BY MICROWAVE PLASMA CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04350171(A) |
申请公布日期 |
1992.12.04 |
| 申请号 |
JP19910149189 |
申请日期 |
1991.05.27 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KATAGIRI HIROYUKI;HASHIZUME JUNICHIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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