发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH04349675(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910123511 申请日期 1991.05.28
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 WATABE YOSHIYUKI;WATANABE JUNICHI;SOMETSUGU TAKAHIRO;SADAMURA SHIGERU
分类号 H01L41/083;H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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