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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0476882(B2)	申请公布日期	1992.12.04
申请号	JP19850104299	申请日期	1985.05.16
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	KUMAGAI HIROMI;ENDO TAMIO
分类号	F24F7/06;B65G1/00;B65G1/02;B65G1/133	主分类号	F24F7/06
代理机构		代理人
主权项
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