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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04350169(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910149221 申请日期 1991.05.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TEL VARIAN LTD 发明人 NAKADA TAKESHI;KAI KOUZOU
分类号 C23C16/44;C23C14/34;C23C16/455;C30B25/14;C30B25/16;H01L21/205;H01L21/285 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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