发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DETECTING ETCHING END POINT
摘要
申请公布号 JPH04350177(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910149168 申请日期 1991.05.27
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKAMURA HAJIME;FUJISAKI HISAO
分类号 C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址