发明名称 FORMATION OF POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04349615(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910123313 申请日期 1991.05.28
申请人 TONEN CORP 发明人 NAGAHARA TATSURO
分类号 H01L21/20;H01L21/28 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址