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发明名称 VERFAHREN ZUR DIFFUSION VON VERUNREINIGUNGEN IN EINEM HALBLEITERSUBSTRAT ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS.
摘要
申请公布号 DE3872836(T2) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 DE19883872836T 申请日期 1988.11.18
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NAKAMURA, MORITAKA C/O FUJITSU LIMITED, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 H01L21/225;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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