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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04348025(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910030345 申请日期 1991.02.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TOYAMA YOKO
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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