| 发明名称 |
PATTERN INSPECTION METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04348260(A) |
申请公布日期 |
1992.12.03 |
| 申请号 |
JP19910120913 |
申请日期 |
1991.05.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MAEDA SHUNJI;KUBOTA HITOSHI;MAKIHIRA HIROSHI;HIROI TAKASHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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