CELL FOR MOLECULAR BEAM EPITAXY,申请号JP19910149951-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CELL FOR MOLECULAR BEAM EPITAXY
摘要
申请公布号	JPH04348022(A)	申请公布日期	1992.12.03
申请号	JP19910149951	申请日期	1991.05.24
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	ITO MICHIHIRO
分类号	C23C14/24;C30B23/08;H01L21/203	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
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