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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0476514(B2)
申请公布日期
1992.12.03
申请号
JP19850264344
申请日期
1985.11.22
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
YAMAGATA TOSHIO
分类号
H01L31/0264;G01J1/02;H01L31/00;H01L31/09
主分类号
H01L31/0264
代理机构
代理人
主权项
地址
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