发明名称 MASKEN-ROM-EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE4214923(A1) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 DE19924214923 申请日期 1992.05.06
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ARAI, HAJIME, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/8246;H01L27/112;H01L29/78 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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