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发明名称
MASKEN-ROM-EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号
DE4214923(A1)
申请公布日期
1992.12.03
申请号
DE19924214923
申请日期
1992.05.06
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ARAI, HAJIME, ITAMI, HYOGO, JP
分类号
H01L21/8246;H01L27/112;H01L29/78
主分类号
H01L21/8246
代理机构
代理人
主权项
地址
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