| 发明名称 |
MATERIAL SURFACE INSPECTION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04348050(A) |
申请公布日期 |
1992.12.03 |
| 申请号 |
JP19900330139 |
申请日期 |
1990.11.30 |
| 申请人 |
MITSUI MINING & SMELTING CO LTD |
发明人 |
MORIYA KAZUO;TSUZURA TAKAYUKI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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