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经营范围
发明名称
POSITIVE TYPE RESIST MATERIAL
摘要
申请公布号
JPH04349464(A)
申请公布日期
1992.12.03
申请号
JP19910121476
申请日期
1991.05.27
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
BAN KOJI;NAKAMURA JIRO;TANAKA HARUYORI;SAITO TORAO
分类号
G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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