发明名称 POSITIVE TYPE RESIST MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH04349464(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910121476 申请日期 1991.05.27
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 BAN KOJI;NAKAMURA JIRO;TANAKA HARUYORI;SAITO TORAO
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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