发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04348032(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910149534 申请日期 1991.05.24
申请人 NEC CORP 发明人 NARITA KAORU
分类号 H01L21/312;H01L21/318;H01L21/768 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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