发明名称 CENTRIFUGAL DEHYDRATOR
摘要
申请公布号 JPH04348522(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910120613 申请日期 1991.05.27
申请人 NEC CORP 发明人 NARUTOMI YASUO
分类号 F26B5/08;H01L21/304 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
地址