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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT THERMISCHEN GETTERPROZESSEN
摘要
申请公布号 DD237937(B1) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 DD19850276889 申请日期 1985.06.03
申请人 ZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN GMBH,DE 发明人 MACHOLD,HANS-JOACHIM,DIPL.-PHYS.,DE;WOLTER,ERIKA,DIPL.-ING.,DE;HUERRICH,ARND,DIPL.-PHYS.,DE;WAITZ,ROLF,DIPL.-ING.,DE;FRICKE,PETER,DR. DIPL.-MINERAL.,DE
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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