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发明名称 TROCKENAETZVERFAHREN FUER ALUMINIUMSCHICHTEN.
摘要
申请公布号 DE3871851(T2) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 DE19883871851T 申请日期 1988.03.24
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NAKAMURA, MORITAKA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 227, JP;KURIMOTO, TAKASHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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