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发明名称 HIGH TEMPERATURE DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号 EP0514407(A4) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 EP19910903081 申请日期 1990.12.20
申请人 THERMTEC, INC. 发明人 MCENTIRE, WILLIAM, D.;ERICKSON, RONALD, E.
分类号 F27B14/06;F27B14/08;F27D1/00;F27D11/02;H01L21/22;H01L21/324;H05B3/06;H05B3/64;H05B3/66;(IPC1-7):F27D11/02 主分类号 F27B14/06
代理机构 代理人
主权项
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