| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING AMORPHOUS SILICON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04346653(A) |
申请公布日期 |
1992.12.02 |
| 申请号 |
JP19910148085 |
申请日期 |
1991.05.24 |
| 申请人 |
JAPAN STEEL WORKS LTD:THE |
发明人 |
SHIBATA TAKASHI;TOKUSHIGE HIROYUKI |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C16/30;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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