发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04346434(A) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 JP19910119919 申请日期 1991.05.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 USUAMI HIROHISA;TORII ZENZO
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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