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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04346456(A) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 JP19910119921 申请日期 1991.05.24
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK 发明人 MATSUI SHUNICHI;TAGI YOICHI;KAWASHIMA YASUHIKO;KAWAMURA KOICHIRO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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