发明名称 POSITION DETECTING METHOD
摘要
申请公布号 EP0488798(A3) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 EP19910311134 申请日期 1991.11.29
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 HASEGAWA, MASANOBU;SAITOH, KENJI;SUDA, SHIGEYUKI
分类号 G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
地址