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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04346227(A) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 JP19910118959 申请日期 1991.05.24
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 C23C14/44;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C14/44
代理机构 代理人
主权项
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