发明名称 VAPOR DEPOSITING MATERIAL FEEDER FOR ION PLATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04346666(A) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 JP19910146552 申请日期 1991.05.23
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 ARAKI TATSURO
分类号 C23C14/32;C23C14/56 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利