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发明名称 MONOLITHIC PRESSURE SENSITIVE INTEGRATED CIRCUIT AND A PROCESS FOR MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 EP0340904(B1) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 EP19890303134 申请日期 1989.03.30
申请人 DELCO ELECTRONICS CORPORATION (A DELAWARE CORP.) 发明人 YODER, DOUGLAS J.;BROWN, RONALD E.;STEVENSON, PAUL E.;HORNBACK, DONALD L.;LEISURE, RONALD K.
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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