发明名称 |
VAPOR DEPOSITED PHOTORESISTS OF ANIONICALLY POLYMERIZABLE MONOMERS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0233747(B1) |
申请公布日期 |
1992.12.02 |
申请号 |
EP19870301125 |
申请日期 |
1987.02.10 |
申请人 |
LOCTITE (IRELAND) LTD. |
发明人 |
WOODS,JOHN G.;ROONEY,JOHN M. |
分类号 |
G03C1/74;C08F2/48;C08F2/54;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027 |
主分类号 |
G03C1/74 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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