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发明名称 POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH04344516(A) 申请公布日期 1992.12.01
申请号 JP19910145591 申请日期 1991.05.21
申请人 NIKON CORP 发明人 OKANO HIROSHI;SHIOGAMA YOSHIHARU;USHIO SHINICHI
分类号 G01D5/249;G02B7/08;G06F3/033;G06F3/038 主分类号 G01D5/249
代理机构 代理人
主权项
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