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发明名称
MICROWAVE PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号
JPH04345797(A)
申请公布日期
1992.12.01
申请号
JP19910120246
申请日期
1991.05.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
ISHIKAWA YASUSHI;HASHIMOTO ISAO
分类号
H01J27/16;H01J37/08;H05H1/46
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
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