ION BEAM GENERATING APPARATUS, FILM-FORMING APPARATUS, AND METHOD FOR FORMATION OF FILM,申请号US19920858865-传众专利搜索

发明名称	ION BEAM GENERATING APPARATUS, FILM-FORMING APPARATUS, AND METHOD FOR FORMATION OF FILM
摘要
申请公布号	US5168197(A)	申请公布日期	1992.12.01
申请号	US19920858865	申请日期	1992.03.27
申请人	RIKAGAKU KENKYUSHO;CHUBU ELECTRIC POWER COMPANY, INCORPORATED;TDK CORPORATION	发明人	TAMBA, MORITAKE;YAMADA, KATUSHIGE;KAWAMURA, KAZUHIKO
分类号	C23C14/48;H01J27/08;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317;H05H1/46;H05H1/48	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利