| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04345064(A) |
申请公布日期 |
1992.12.01 |
| 申请号 |
JP19910117353 |
申请日期 |
1991.05.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAWAGUCHI ETSUKO;YOSHIDA MASAAKI;MITANI SHINICHIRO |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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