发明名称 CANTILEVER CHIP FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04343009(A) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 JP19910115068 申请日期 1991.05.20
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 TODA AKITOSHI
分类号 G01B21/30;G01Q60/38;G01Q70/10;G01Q70/16;H01J37/28;H01L21/66 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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