发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04343459(A) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 JP19910115194 申请日期 1991.05.21
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SATO MITSUO
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
地址