发明名称 PLACEMENT AND ROUTING DEVICE OF SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH04343452(A) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 JP19910115752 申请日期 1991.05.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORI HIROYUKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址