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发明名称 CASSETTE OF SUBSTRATE WASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04343428(A) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 JP19910116057 申请日期 1991.05.21
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MIYAGAWA TAKUYA
分类号 B05C3/09;B05C13/00;B08B11/02;H01L21/304 主分类号 B05C3/09
代理机构 代理人
主权项
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