发明名称 PLASMA POSITION AND SHAPE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH04343091(A) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 JP19910114393 申请日期 1991.05.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 HARA SHIGEMITSU;TAKEUCHI KAZUHIRO;ABE MITSUJI
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H05H1/00 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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