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经营范围
发明名称
PLASMA POSITION AND SHAPE CONTROLLER
摘要
申请公布号
JPH04343091(A)
申请公布日期
1992.11.30
申请号
JP19910114393
申请日期
1991.05.20
申请人
HITACHI LTD
发明人
HARA SHIGEMITSU;TAKEUCHI KAZUHIRO;ABE MITSUJI
分类号
G21B1/11;G21B1/00;H05H1/00
主分类号
G21B1/11
代理机构
代理人
主权项
地址
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