| 发明名称 |
PART DRYING SYSTEM AND METHOD OF DRYING PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04343225(A) |
申请公布日期 |
1992.11.30 |
| 申请号 |
JP19920051438 |
申请日期 |
1992.03.10 |
| 申请人 |
HAWAADO EMU REITON |
发明人 |
JIYOZEFU TEII BUADAZU;HAWAADO EMU REITON |
| 分类号 |
F26B3/347;F26B5/02;F26B7/00;F26B17/34;F26B23/08;G02B3/00;H01L21/00;H01L21/304 |
主分类号 |
F26B3/347 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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