发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04340766(A) 申请公布日期 1992.11.27
申请号 JP19910113545 申请日期 1991.05.17
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 INOUE SHIGETO
分类号 H01L21/314;H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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