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发明名称 PRODUCTION OF THIN METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH04341572(A) 申请公布日期 1992.11.27
申请号 JP19910142460 申请日期 1991.05.18
申请人 HORIBA LTD 发明人 TOMITA KATSUHIKO
分类号 C23C18/08;C23C18/12;C23C18/42;G01N27/12;G01N27/333;G01N27/414;H05K3/10 主分类号 C23C18/08
代理机构 代理人
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