发明名称 COATING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH04342144(A) 申请公布日期 1992.11.27
申请号 JP19910114508 申请日期 1991.05.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAMOTO MICHIO
分类号 B05C5/00;H01L21/56 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
地址