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发明名称 LIQUID-PHASE EPITAXIAL APPARATUS AND METHOD OF GROWING EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH04342492(A) 申请公布日期 1992.11.27
申请号 JP19910224298 申请日期 1991.09.04
申请人 SAMSUNG ELECTRON CO LTD 发明人 RII SONNJIYAE
分类号 C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
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