发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04340721(A) 申请公布日期 1992.11.27
申请号 JP19910112088 申请日期 1991.05.17
申请人 NEC CORP 发明人 ABIKO HITOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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