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发明名称 INSPECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04342150(A) 申请公布日期 1992.11.27
申请号 JP19910114415 申请日期 1991.05.20
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 KINUMEGAWA ISAO;TAKAGAKI TADASHI;TOYOSHIMA HIRONOBU;NUMATA KIYOSHI;OKAMOTO TSUNEHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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