发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04339204(A) 申请公布日期 1992.11.26
申请号 JP19910036715 申请日期 1991.02.06
申请人 RICOH CO LTD 发明人 ISOBE TAMI
分类号 G01B11/06;G01N21/21;G01N21/41 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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