SINGLE WAFER ROBOTIC PACKAGE

摘要

Conteneur pour le stockage et le transport d'une seule tranche de silicium ou d'un article semblable pouvant mesurer 300 millimètres de diamètre ou plus. Le conteneur est constitué d'un cadre en forme de U muni d'un rebord sur lequel vient prendre appui le bord d'une tranche, le côté ouvert du cadre en forme de U permettant l'insertion et le retrait d'une tranche; d'un panneau supérieur fixé sur le cadre en U et traversant ce cadre pour définir un compartiment où vient se loger la tranche; d'un dispositif d'arrêt traversant le côté ouvert du compartiment pour empêcher le retrait de la tranche; de dispositifs de verrouillage de la tranche faisant face au rebord pour maintenir le bord d'une tranche contre ce rebord; d'une fente d'accès ménagée dans le rebord du cadre donnant accès au rebord de la tranche et permettant de soulever cette dernière. L'ensemble du cadre est ouvert vers le bas, ce qui donne accès à la tranche par le côté inférieur du conteneur; le cadre est également muni de nervures et de gorges d'empilage; le panneau supérieur est muni d'une poignée robotisée et le dispositif d'arrêt est également actionné par un robot.